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천세산업 서비스에 관한 문의사항을 성실히 답변해 드리고 있습니다.

SP-D 펌프사양 문의2014.11.04
안녕하십니까. 그린광학의 정상우 수석입니다. 저희가 에칭장비에 귀사의 다이어프램 펌프(SP-D300-FTC-7WS-310)가 적용되었는데, 펌프 사양이 맞는지 의문이 들어 문의 드립니다. 에칭장비의 운용조건은 다음과 같습니다. - 운용압력 : 2bar - 운용유량 : 20ml/min 압력조건에 맞추어 사양을 정한 듯 한데, 해당 조건에서 펌프의 맥동이 크게 나타납니다. 카달로그에 SP- D100 / D200 의 사양이 있던데, 저희 에칭장비에 맥동을 감소시키는데 D100이 보다 적절한 것인지 문의드립니다. 에어챔버도 적용할 예정인데, 현재 D300의 사양으로는 큰 효과를 얻을 수 없을 듯하여 문의 드립니다. 부디 펌프의 적절한 사양 추천 부탁드립니다. 빠른 응답 주시길 바랍니다.
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